Första nanolabben: Litografi

Igår hade jag min första laboration på MPNAT (nanotekniksmastern). Det var en ganska enkel men ändå spännande labb nere i renrummet där vi fick med hjälp av litografi inpränta ett mönster i ett guldchip. Tyvärr kunde jag inte ta några foton nere i renrummet - vi var tvungna att ha på oss skyddskläder eftersom människor är den största kontamineringen i ett renrum :/ Men på bilden nedan ser du det chip jag gjorde under labben :)
 
 
Labben bestod av ett par enkla steg:
  1. Lägg ett chip på spinnern, droppa lite fotoresist på chippet och snurra det sedan så att det blir ett jämnt lager fotoresist.
  2. Värm chippet i en minut på 100 grader celsius så att fotoresisten stelnar.
  3. Bestråla chippet med UV-ljus i 30 sekunder enligt det mönster du vill ha.
  4. Skölj bort den upplösta fotoresisten i en lösning.
  5. Skölj chippet i vatten och torka med en kvävgasspruta.
  6. Skölj bort guldet som inte längre är skyddat av fotoresist i en guldlösare.
  7. Skölj chippet i vatten och torka med en kvävgasspruta.
  8. Lägg chippet i aceton en stund.
  9. Tag upp chippet, torka och lägg i din plastficka.
Riktigt straight-forward och kul :) och så fick vi behålla våra guldchip :D